Angielski ⇄ Chiński Rosyjski Ukraiński +

deep-UV lithography akcenty
mikr.	фотолитография на глубоком ультрафиолете (key2russia); фотолитография на жёстком ультрафиолете (key2russia)
publ.	фотолитография на глубоком жёстком ультрафиолете
deep-uv lithography
elektron.	фотолитография с источником дальнего УФ-излучения
mikr.	литография в глубоком ультрафиолете