scattering with angular limitation projection electron-beam lithography | technique

technique
posp.	Methode; Technik; Einsatztechnik
chem.	Technik; Verfahren
opak.	Verpackungsmethode; Verpackungstechnik
polit.	Arbeitsweise
praw.	Verfahren
techniques
techn.	Mittel

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