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| LOCOS f; lokale Siliziumoxydation (Bipolar-Planar-Technologie) | |||
| Lokaloxydation von Silizium (zur Isolation aktiver Bauelemente von hochintegrierten Si-Schaltkreisen) | |||
| local oxidation of silicon: 3 do fraz, 1 tematyki |
| Mikroelektronika | 3 |
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| LOCOS f; lokale Siliziumoxydation (Bipolar-Planar-Technologie) | |||
| Lokaloxydation von Silizium (zur Isolation aktiver Bauelemente von hochintegrierten Si-Schaltkreisen) | |||
| local oxidation of silicon: 3 do fraz, 1 tematyki |
| Mikroelektronika | 3 |