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| Kenngröße f; Merkmalsgrösse f | |||
| Elementbreite m (microcircuits); Strukturgröße f (microcircuits) | |||
| Strukturgröße f; Elementbreite m; Linienbreite f | |||
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feature sizes : 30 do fraz, 3 tematyki |
| Mikroelektronika | 27 |
| Pospolicie | 2 |
| Technologia informacyjna | 1 |