| |||
| высокочастотная плазма; плазма высокочастотного разряда; плазма радиочастотного разряда; радиочастотная плазма | |||
| плазма ВЧ-разряда | |||
| ВЧ плазма | |||
|
radio-frequency plasma : 4 phrases in 3 subjects |
| Aerohydrodynamics | 1 |
| Electronics | 2 |
| Microelectronics | 1 |
| |||
| высокочастотная плазма; плазма высокочастотного разряда; плазма радиочастотного разряда; радиочастотная плазма | |||
| плазма ВЧ-разряда | |||
| ВЧ плазма | |||
|
radio-frequency plasma : 4 phrases in 3 subjects |
| Aerohydrodynamics | 1 |
| Electronics | 2 |
| Microelectronics | 1 |