vector scan
electronbeam | lithography
| vector scan | |
| microel. | векторне сканування |
| lithography | |
| gen. | літографія; літографування; плоский друк |
| archive. | літографія |
| microel. | літографія; мікролітографія |
| |||
| векторне сканування | |||
|
vector scan : 6 phrases in 2 subjects |
| General | 2 |
| Microelectronics | 4 |