vector scan
| electron beam lithography
| vector scan | |
| microel. | векторне сканування |
| electron-beam lithography | |
| microel. | електронно-променева літографія; електроннопроменева електронна літографія; електронолітографія |
| |||
| векторне сканування | |||
|
vector scan : 6 phrases in 2 subjects |
| General | 2 |
| Microelectronics | 4 |