resistless etching | |
microel. | травлення без фоторезистної маски |
technology | |
gen. | техніка; технічні і прикладні науки; технологія; спеціальна термінологія |
comp. | технічні засоби |
environ. | технологія |
microel. | техніки |
| |||
травлення без фоторезистної маски (напр. за допомогою ексимерних лазерів) |
resistless etching : 2 phrases in 1 subject |
Microelectronics | 2 |