| |||
| безконтактний датчик величини щілини (напр. у фотолітографії з щілиною); безконтактний датчик величини мікрощілини (напр. у фотолітографії з щілиною) | |||
| |||
| безконтактний датчик величини щілини (напр. у фотолітографії з щілиною); безконтактний датчик величини мікрощілини (напр. у фотолітографії з щілиною) | |||
