| |||
| електронно-променева літографія (Yuriy Sokha); електроннопроменева електронна літографія; електронолітографія f (Альтернатива рентгенівській літографії; використовує електрони, забезпечує високу роздільну здатність і не вимагає фотошаблону.) | |||
|
electron- beam lithography : 5 phrases in 1 subject |
| Microelectronics | 5 |