| |||
| електронно-променева проекційна літографія; проектування електронного променя (на оброблюваний об'єкт) | |||
|
electron projection : 8 phrases in 1 subject |
| Microelectronics | 8 |
| |||
| електронно-променева проекційна літографія; проектування електронного променя (на оброблюваний об'єкт) | |||
|
electron projection : 8 phrases in 1 subject |
| Microelectronics | 8 |