| |||
| електроннопроменева електронна літографія; електронолітографія f (Альтернатива рентгенівській літографії; використовує електрони, забезпечує високу роздільну здатність і не вимагає фотошаблону.) | |||
|
electron lithography : 8 phrases in 1 subject |
| Microelectronics | 8 |