air-isolation
| monolithic structure
| air isolation | |
| microel. | ізоляція повітряними проміжками |
| monolithic structure | |
| microel. | монолітна структура; структура напівпровідникової ІС |
| |||
| ізоляція повітряними проміжками (в ІС з балковими виводами) | |||
|
air-isolation : 6 phrases in 1 subject |
| Microelectronics | 6 |