variable shaped beam
| exposure
| variable shaped beam abbr. | |
| microel. | variabler Formstrahl; variabler Flächenstrahl |
| exposure abbr. | |
| gen. | Aufschlag; Belastung; Exposition; Aufdeckung; Ausgesetztsein; Aussetzen |
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| variabler Formstrahl; variabler Flächenstrahl | |||
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variable shaped beam : 9 phrases in 1 subject |
| Microelectronics | 9 |