submicron resolution
| in the
| production
| of
VLST | circuits
| submicron resolution | |
| microel. | Auflösung im Submikrometerbereich |
| in the | |
| gen. | im |
| production | |
| gen. | Erzeugung; Herstellung; Inszenierung; Produktion; Regie; Ausbringung |
| agric. | wirtschaftlicher Ertrag |
| of | |
| gen. | von; vor; über; aus; nach; hiervon |
| circuit | |
| gen. | Bezirk; Kreis; Kreislauf; Schaltkreis; Schaltung; Stromkreis |
| |||
| Auflösung im Submikrometerbereich | |||
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submicron resolution : 2 phrases in 1 subject |
| Microelectronics | 2 |