step-and-repeat exposure abbr. | |
microel. | schrittweise Belichtung |
system abbr. | |
gen. | Methode; System; Anlage |
refrig. | System |
tech. | Anlage; Anordnung; Bauart; Netz; Netzverbund; Bezugssystem datum |
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schrittweise Belichtung |
step-and-repeat exposure : 6 phrases in 1 subject |
Microelectronics | 6 |