pattern placement
| metrology
| pattern placement abbr. | |
| microel. | Strukturplazierung |
| metrology abbr. | |
| gen. | Messtechnik; Messkunde; Maß- und Gewichtskunde |
| biol. | Messwesen |
| environ. | Metrologie |
| opt. | Meßtechnik |
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| Strukturplazierung f | |||
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pattern placement : 4 phrases in 2 subjects |
| Information technology | 1 |
| Microelectronics | 3 |