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| evolution
| feature size | |
| gen. | Kenngröße; Merkmalsgrösse |
| commun. | Elementbreite; Strukturgröße |
| evolution | |
| gen. | Entwicklung; Entwicklungslinie |
| chem. | Ablauf |
| econ. | Entwicklung; Fortschritt |
| ed. | Evolution |
| environ. | Evolution |
| tech. | Evolution; Weiterentwicklung; Wurzelziehen |
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| Kenngröße f; Merkmalsgrösse f | |||
| Elementbreite m (microcircuits); Strukturgröße f (microcircuits) | |||
| Strukturgröße f; Elementbreite m; Linienbreite f | |||
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feature size : 32 phrases in 4 subjects |
| Electronics | 1 |
| General | 4 |
| Information technology | 2 |
| Microelectronics | 25 |