dimensional accuracy
| of the
| developed
| resist pattern
| dimensional accuracy | |
| gen. | Formgenauigkeit |
| met. | Massgenauigkeit; Massegenauigkeit |
| microel. | Größengenauigkeit |
| pack. | Maßbeständigkeit; Dimensionsstabilität; Maßhaltigkeit |
| of the | |
| gen. | vom; des |
| develop | |
| gen. | ausgestalten; entfalten |
| developed | |
| gen. | entfaltet; entwickelt; ausgestaltet; erschlossen; bebaut; entwickelte |
| construct. | baureif |
| winemak. | entwickelt |
| resist pattern | |
| microel. | Resiststruktur; Lackbild |
|
dimensional accuracy : 1 phrase in 1 subject |
| Microelectronics | 1 |