| |||
| миниатюризация по технологии "сверху-вниз" (основанной на разрушении массивного материала до уровня наночастиц); миниатюризация по технологии нисходящего производства | |||
| |||
| миниатюризация по технологии "сверху-вниз" (основанной на разрушении массивного материала до уровня наночастиц); миниатюризация по технологии нисходящего производства | |||
