| |||
| микроминиатюризация по технологии "сверху-вниз" (основанной на разрушении массивного материала до уровня наночастиц); микроминиатюризация по технологии нисходящего производства | |||
| |||
| микроминиатюризация по технологии "сверху-вниз" (основанной на разрушении массивного материала до уровня наночастиц); микроминиатюризация по технологии нисходящего производства | |||
