plasma etch abbr. | |
el. | плазмохимическое травление |
process abbr. | |
gen. | процесс; продвижение; технологический способ |
busin. | дальнейший процесс |
fig. | направление |
law | процессуальные документы; судебное предписание |
tech. | производственный; проверка; проверка данных |
| |||
плазмохимическое травление (управляемое селективное удаление материала с помощью химически активных ионов и радикалов в низкотемпературной плазме низкого давления) | |||
плазменное травление (процесс травления с использованием в качестве травителя облака ионизированного газа) |
plasma etch : 7 phrases in 2 subjects |
Microelectronics | 4 |
Technology | 3 |