| |||
| планаризация | |||
| обеспечивание плоскостности; выравнивание (поверхности) | |||
| выравнивание; обеспечение плоскостности (поверхности); сглаживание (поверхности); сглаживание поверхности | |||
|
planarization : 14 phrases in 6 subjects |
| Construction | 2 |
| Makarov | 1 |
| Mass media | 2 |
| Microelectronics | 3 |
| Nanotechnology | 5 |
| Technology | 1 |