photolithography-based
| CMOS circuit
| photolithography-based | |
| nano | с применением фотолитографии; на основе фотолитографии |
| CMOS circuit | |
| microel. | КМОП ИС; комплементарная МОП ИС |
| |||
| с применением фотолитографии; на основе фотолитографии | |||
|
photolithography-based : 4 phrases in 1 subject |
| Nanotechnology | 4 |