molecularbeam | epitaxy

epitaxy
el.	эпитаксия
met.	эпитаксия; эпитаксиальная кристаллизация
nano	эпитаксиальное выращивание кристаллов
silic.	эпитаксия

| method

method
gen.	способ; приём; система; порядок; классификация; подход
busin.	логичность
patents.	процесс
tech.	методика; техника