| |||
| микроэлектромеханические системы (технология изготовления интегральной схемы при производстве микромеханических, оптических, электромеханических и биосенсорных датчиков) | |||
| |||
| микроэлектромеханические системы (технология изготовления интегральной схемы при производстве микромеханических, оптических, электромеханических и биосенсорных датчиков Игорь_2006) | |||
| English thesaurus | |||
| |||
| MEMS | |||
| |||
| MEM (US DARPA) | |||
