| |||
| метод базового кристалла (заготовка типовых фотошаблонов БИС и модификация рабочих фотошаблонов для металлизации в зависимости от функционального назначения кристалла БИС) | |||
| |||
| метод базового кристалла (заготовка типовых фотошаблонов БИС и модификация рабочих фотошаблонов для металлизации в зависимости от функционального назначения кристалла БИС) | |||
| |||
| технология изготовления ИС на основе базового кристалла; метод базового кристалла | |||
| метод базового матричного кристалла | |||
