| |||
| размер элемента (ИС) | |||
| размер топологического элемента (key2russia); размер, характеризующий прибор; топологический размер (key2russia); минимальный топологический размер (key2russia); характерный размер (элемента ИС); топологический размер (элемента ИС) | |||
| размер элемента; ширина линии (в структуре ИС) | |||
|
feature size : 3 phrases in 2 subjects |
| Automated equipment | 2 |
| Foreign affairs | 1 |