| |||
| установка совмещения (и экспонирования); установка литографии | |||
| установка совмещения (при экспонировании полупроводниковых ИС) | |||
|
alignment machine : 5 phrases in 2 subjects |
| Automated equipment | 4 |
| Polygraphy | 1 |
| |||
| установка совмещения (и экспонирования); установка литографии | |||
| установка совмещения (при экспонировании полупроводниковых ИС) | |||
|
alignment machine : 5 phrases in 2 subjects |
| Automated equipment | 4 |
| Polygraphy | 1 |