| |||
| ЭПИК-процесс (технология ИС с эпитаксиально-планарной изоляцией); технология ИС с эпитаксиально-планарной изоляцией (ЭПИК-процесс) | |||
| технология ИС с эпитаксиально-планарной изоляцией | |||
| |||
| ЭПИК-процесс (epitaxial passivated integrated circuit, один из вариантов метода диэлектрической изоляции компонентов полупроводниковых интегральных схем, характеризующийся определённой последовательностью технологических операций, в этом варианте используется двуокись кремния, которая в виде тонкого слоя изолирует компоненты интегральной схемы друг от друга и от подложки (эпитаксиальной поликристаллической)) | |||
