| English | Russian |
| top-down technology-based microelectromechanical system | МЭМС на основе технологии нисходящего производства |
| top-down technology-based microelectromechanical system | МЭМС, созданная по технологии "сверху-вниз" (основанной на разрушении массивного материала до уровня наночастиц) |