Terms for subject Nanotechnology containing reactive etching

English	Russian
reactive ion etching-fabricated hole	наноразмерное отверстие, формируемое методом реактивного ионного травления
reactive ion etching-fabricated window	наноразмерное окно, формируемое методом реактивного ионного травления
reactive ion-beam etching	реактивное ионно-пучковое травление
reactive ion-plasma etching	реактивное ионоплазменное травление