| English | Russian |
| biomolecular microsystem | биомолекулярная микросистема |
| microsystem technology | микросистемная технология |
| microsystems and nanosystems engineering | микро- и наносистемная техника (American Society for Engineering Education Alex_Odeychuk) |
| microsystems engineering | микросистемная техника (Louisiana Tech University Alex_Odeychuk) |
| microsystems technology | нанотехнология (Игорь_2006) |
| total analysis microsystem | микросистема полного анализа (в наномедицине) |