Terms for subject Nanotechnology containing beam array

English	Russian
beam-forming array	диаграммообразующая антенная решётка
finely focused ion beam implantation-formed ordered array	упорядоченная решётка наночастиц, сформированная имплантацией точно фокусированным ионным пучком
focused ion beam-etched vertical CNTs array	массив вертикальных УНТ после травления фокусированным ионным пучком
ion beam-etched vertical CNTs array	массив вертикальных УНТ после травления ионным пучком
phased-array beam	луч ФАР