| English | Russian |
| bottom-up technology-based nanoelectromechanical system | НЭМС на основе технологии восходящего производства |
| bottom-up technology-based nanoelectromechanical system | НЭМС, созданная по технологии "снизу-вверх" (основанной на объединении атомов, молекул и их совокупностей до получения наночастиц) |
| top-bottom technology-based microelectromechanical system | МЭМС на основе технологии нисходящего производства |
| top-bottom technology-based microelectromechanical system | МЭМС, созданная по технологии "сверху-вниз" (основанной на разрушении массивного материала до уровня наночастиц) |
| top-down technology-based microelectromechanical system | МЭМС на основе технологии нисходящего производства |
| top-down technology-based microelectromechanical system | МЭМС, созданная по технологии "сверху-вниз" (основанной на разрушении массивного материала до уровня наночастиц) |