Terms for subject Microelectronics containing spatial

English	German
insure exposure in a precise spatial relationship to the mark	die Belichtung in einer genauen räumlichen Beziehung zur Marke gewährleisten
spatial distribution of energy	räumliche Verteilung der Energie
spatial filtering	räumliches Filtern
spatial frequency term	Ortsfrequenzglied
time spatial signal averaging	Mittelwertbildung des Zeit- und Raumsignals