Terms for subject Microelectronics containing spaces

English	Russian
close space epitaxy	эпитаксия в замкнутом объёме
drift space	область дрейфа
drift space	дрейфовое пространство
floor space	производственная площадь
floor space area	планаризованная поверхность (key2russia)
Langmuir dark space	ленгмюрово тёмное пространство
logical representation space	пространство логического представления
space-charge density	плотность объёмного заряда
space-charge layer	слой объёмного заряда
space-charge limited current	ток, ограниченный объёмным зарядом
space-charge limited triode	триод с ограниченным объёмным зарядом
space-charge region	область объёмного заряда
space semiconductor processing	обработка полупроводниковых материалов в космосе
space-weight saving	улучшение массогабаритных характеристик
state space	фазовое пространство
vacant space	вакантное место (печатной платы I. Havkin)
wiring space	промежуток для размещения