Terms for subject Microelectronics containing reactive etching

English	Russian
hydrogen reactive ion etching	реактивное ионное травление в среде водорода
ion-beam assisted reactive etching	реактивное травление с применением ионного пучка (key2russia)
reactive ion etching	реактивное ионное травление
reactive sputter etching	травление методом реактивного распыления (key2russia)
reactive-ion etch resistance	стойкость к реактивному ионному травлению (key2russia)
reactive-ion etching	РИТ (RIE – реактивное ионное травление key2russia)
reactive-ion etching	реактивное ионное травление