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| project stepper | Projektions- und Überdeckungsrepeater (stepping aligner) |
| project stepper | Wafer-Stepper (stepping aligner) |
| project stepper | Justier- und Belichtungsanlage mit Repeateinrichtung (stepping aligner) |
| project stepper | Scheibenrepeater (stepping aligner) |
| project stepper | Projektionsscheibenrepeater (stepping aligner) |
| project-reduction stepper | Projektionsscheibenrepeater mit verkleinerter Strukturübertragung |
| project-reduction wafer stepper | Wafer-Stepper |
| project-reduction wafer stepper | Projektionsscheibenrepeater mit Bildverkleinerung |