Terms for subject Microelectronics containing project step-and-repeat machine

English	German
project step-and-repeat electron-beam lithography machine	elektronenstrahllithografische Projektions-Step-und-Repeat-Anlage
project step-and-repeat machine	Scheibenrepeater
project step-and-repeat machine	Justier- und Belichtungsanlage mit Repeateinrichtung
project step-and-repeat machine	Projektionsscheibenrepeater
project step-and-repeat machine	Projektions- und Überdeckungsrepeater