Terms for subject Microelectronics containing precursor c

English	Russian
gas-phase precursor	газофазный исходный реагент
precursor pyrolysis	пиролиз исходного вещества
precursor reaction	реакция исходного вещества
precursor solution	исходный раствор
precursor solution	первичный раствор
saturated polymeric precursor	насыщенный полимерный исходный материал
si-yielding precursor	вещество, служащее для формирования слоя кремния
surfase-adsorber precursor	исходный реагент, адсорбированный на поверхности
sy-yielding precursor	вещество, служащее для формирования слоя кремния