Terms for subject Microelectronics containing pattern resolution

English	German
high-resolution replication of the printed resist patterns	Vervielfältigung der belichteten Resiststrukturen mit hoher Auflösung
replication of high-resolution patterns	Vervielfältigung hochaufgelöster Strukturen
resolution test pattern	Auflösungsteststruktur
write patterns at high resolution	Strukturen mit hoher Auflösung schreiben