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charakteristischer Parameter	descriptive parameter
Parameter aus dem Hauptprogramm aufnehmen	pick up parameters from the main program
Parameter des fertigen Bauelements	finished device parameter
prozeßbezogene Parameter durch elektrische Tests gewinnen	extract process-related parameters through electrical tests
substratspezifischer Parameter	substrate-related parameter
Veränderlichkeit der Parameter innerhalb der Wafer	within-wafer parametric variability
wichtigster Parameter der MOS-Bauelemente	key MOS device parameter
Z-Parameter	Z parameter
zentraler Parameter der MOS-Bauelemente	key MOS device parameter