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Microelectronics
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English
German
absence of error in a set of data
Fehlerfreiheit in einem Datensatz
alignment of successive lithographic levels on a wafer
Justierung aufeinanderfolgender lithografischer Ebenen auf einem Wafer
alignment system
of a
wafer stepper
Justiersystem eines Überdeckungsrepeaters
allocate the time
of a
central processor to a specific job
die Zeit eines Zentralprozessors einem bestimmten Job zuweisen
apply a layer of photoresist uniformly to the oxidized silicon
eine Fotoresistschicht gleichmäßig auf das oxydierte Silizium aufbringen
apply a thick layer
of a
resist to the wafer
eine dicke Resistschicht auf dem Wafer aufbringen
architecture
of a
buffer
Aufbau eines Pufferspeichers
arrangement of data in a record
Anordnung der Daten in einem Satz
arrangement of parts
of a
computer instruction
Anordnung von Teilen eines Maschinenbefehls
array of alignment targets on a wafer
Justiermarkenanordnung auf einem Wafer
array of dice on a photomask
Verband von Einzelbildern auf einer Fotomaske
average over a number of readings
über eine Reihe von Meßwerten mitteln
back direction
of a
rectifying^ contact
Sperrrichtung eines Gleichrichterkontakts
basic part
of a
computer system
Grundeinheit einer Rechenanlage
boost performance by a factor
of as
much as 10
die Leistung um einen Faktor von nicht weniger als 10 steigern
boost the driving capability
of a
microprocessor
die Treiberleistung eines Mikroprozessors verstärken
broaden the effective size
of a
focussed beam
den effektiven Durchmesser eines fokussierten Strahls vergrößern
build up the total image
of a
circuit from rectangles
die Gesamtstruktur eines Schaltkreises aus Rechtecken zusammensetzen
build-up
of a
space charge region
Aufbau eines Raumladungsbereichs
bump symmetry on all four sides
of a
chip
Bondhügelsymmetrie auf allen vier Seiten eines Chips
bypass a low-yielding part of the mask making process
einen Teil des Maskenherstellungsprozesses mit geringer Ausbeute umgehen
characterization
of a
global alignment on a wafer stepper
Bewertung einer Gesamtwaferjustierung auf einem Wafer-Stepper
chordal flat
of a
wafer
Anschliff eines Wafers
circuit structure for a fan-in of 1 and a fan-out of 3
Schaltkreisstruktur für einen Eingangslastfaktor 1 und einen Ausgangslastfaktor 3
coat with a one-micron film of photoresist
mit einem 1 μm dicken Resistfilm beschichten
completion
of a
read operation
Abschluß eines Lesevorgangs
component side
of a
printed circuit board
Bestükkungsseite einer Leiterplatte
conductive pattern
of a
circuit
Leiterstruktur eines Schaltkreises
connect a number of terminals to a central processor
eine Reihe von Datensichtgeräten mit dem Zentralprozessor verbinden
consolidate dozens of logic elements into a single IC
Dutzende von Logikelementen in einer einzigen integrierten Schaltung vereinigen
consume a large part of the die area
einen großen Teil der Chipfläche einnehmen
(beanspruchen)
contents
of a
file
Dateiinhalt
continual recirculation
of a
signal
ständiger Umlauf eines Signals
contrast
of a
resist
Kontrast eines Resists
copy
of a
chrome mask
Kopie einer Chrommaske
copy the contents
of a
memory area to a backing store
den Inhalt eines Speicherbereichs auf einen Hilfsspeicher übertragen
correctness of alignment between reticles in a set
Richtigkeit der Justierung zwischen Retikeln in einem Satz
couple into a film of resist
in eine Resistschicht einkoppeln
create a 4.0-mm wide image of the slit at the mask plane
ein 4 mm breites Bild des Spalts in der Maskenebene erzeugen
create a new copy of the file
eine neue Kopie der Datei erzeugen
current contents
of a
counter
aktueller Inhalt eines Zählers
custom-built-fitted for a variety of applications
für verschiedene Anwendungszwecke entwickelt
cut off the least significant digits
of a
number
die niedrigstwertigen Ziffern einer Zahl abschneiden
cut the mask generation time down by a factor of two to three
die Maskenherstellungszeit um das Zwei- bis Dreifache verringern
(reduzieren)
deallocate a block of memory
die Zuordnung für einen Speicherblock aufheben
deallocate a block of memory
einen Speicherblock freigeben
decompose into a number of stripes
in eine Reihe von Streifen zerlegen
decompose the pattern into a number of elements
das Belichtungsmuster in eine Reihe von Elementarfiguren zerlegen
demagnify to a probe of 10 Ä
auf einen Sondendurchmesser von 10 Ä verkleinern
determine exact stage position to tolerances ranging from 1/8 to 1/48 wavelength
of a
HeNe laser
die genaue Tischposition mit einer Toleranz von 1/8 bis 1/48 Wellenlänge eines Helium-Neon-Lasers bestimmen
diagrammatic representation
of a
computer program
Schemadarstellung eines Rechenprogramms
die size of 10 millimetres on a side
Chipgröße von 10 mm x 10 mm
diffuse impurities into a slice of germanium
Störatome in eine Germaniumscheibe eindiffundieren
digit
of a
decimal number
Ziffer einer Dezimalzahl
dimension below a few tenths of nanometres
Abmessung unter einigen zehntel Nanometer
direct stepping
of a
reticle onto wafers
direkte Übertragung einer Retikelstruktur auf Wafer
(im Step-und-Repeat-Verfahren)
direct writing of the device pattern with a scanning electron beam
Direktschreiben der Bauelementstruktur mit einem Rasterelektronenstrahl
displacement
of a
benchmark
Verschiebung einer Festpunktmarke
distribute to a large number of gates
an eine große Zahl von Gattern verteilen
edge
of a
wafer
Rand eines Wafers
edgeboard connector
of a
p.c. board
Stekkerleiste einer gedruckten Schaltung
element of data descriptive
of a
record
Datenelement zur Beschreibung eines Satzes
employ extensively in a wide variety of applications
in hohem Maße für die verschiedensten Verwendungszwecke benutzen
encompass a range of wavelengths
einen Wellenlängenbereich umfassen
enlarged image
of a
single circuit pattern
vergrößertes Bild einer einzigen Schaltkreisstruktur
erasure of the contents
of a
file
Löschen des Dateiinhalts
erasure of the contents
of a
file
Löschung des Dateiinhalts
establishment
of a
steady-state condition
Aufbau eines stationären Zustands
expose patterns deep into a thick coating of resist
Strukturen tief in eine dicke Resistschicht hinein exponieren
expose the photoresist on the surface
of a
wafer to the patterns on a reticle
das Fotoresist auf der Oberfläche eines Wafers mit den Strukturen eines Retikels belichten
exposure time on the order
of a
minute
Expositionszeit von etwa einer Minute
exposure time on the order
of a
minute
Belichtungszeit von etwa einer Minute
extend to a distance less than a wavelength of light away from the mask
sich auf weniger als eine Lichtwellenlänge von der Maske erstrecken
extract a unit of data from memory
eine Dateneinheit aus dem Speicher abziehen
fallout from a series of qualification tests
Aussonderung aus einer Reihe von Qualifikationsprüfungen
fallout from a series of qualification tests
Herausfallen aus einer Reihe von Qualifikationsprüfungen
focus the beam just to the side
of a
knifeedge
den Strahl genau neben eine Schneide fokussieren
formation
of a
charge layer
Entstehung einer Ladungsschicht
formation
of a
charge layer
Bildung einer Ladungsschicht
fractional part
of a
decimal numeral
Bruchteil einer Dezimalzahl
frequency response
of a
planar transistor
Grenzfrequenz eines Planartransistors
gamma
of a
resist
Gammawert eines Resists
give a value of d/L very nearly unity
einen Wert für d/L von annähernd Eins ergeben
image an aperture in the plane
of a
second aperture
eine Blende in die Ebene einer zweiten Blende abbilden
image with a demagnification of 10:1 onto a wafer
mit einer Verkleinerung von 10:1 auf den Wafer abbilden
imaging process
of a
step-and-repeat aligner
Abbildungsprozeß eines Scheibenrepeaters
importance
of a
message
Bedeutung einer Nachricht
impose a succession of patterns
eine Folge von Strukturen aufbringen
impurity content
of a
diffused silicon wafer
Störstellengehalt eines diffundierten Siliziumwafers
incorporate a low quantity of impurity into silicon
eine geringe Zahl von Störatomen in Silizium einbauen
increase by a factor of 4
sich um das Vierfache vergrößern
indicate the end
of a
block
das Blockende anzeigen
initiate the loading
of a
program into a computer
die Eingabe eines Programms in einen Computer einleiten
initiation
of a
job
Beginn eines Jobs
initiation
of a
job
Auslösen eines Jobs
injection of holes from a p+ into an n-region
Injektion von Löchern aus einer p⁺- in eine n-Zone
integral part
of a
decimal numeral
ganzzahliger Teil einer Dezimalzahl
integrate an increased amount of circuitry onto a single chip
einen komplexeren Schaltkreis auf einem einzelnen Chip integrieren
interaction
of a
focussed electron beam with a polymer film
Wechselwirkung eines fokussierten Elektronenstrahls mit einer Polymerschicht
interconnect
of a
multilayer construction
Verbindungsleitung einer Mehrschichtkonstruktion
internal architecture
of a
microcomputer
innerer Aufbau eines Mikrocomputers
internal architecture
of a
microcomputer
Innenaufbau eines Mikrocomputers
interruption of processing by a system failure
Unterbrechung der Verarbeitung durch Anlagenausfall
introduce a time lag into the process of transmitting data
eine zeitliche Verzögerung in den Datenübertragungsprozeß einführen
inverse-blocking voltage
of a
junction rectifier
Sperrspannung eines Sperrschichtgleichrichters
item in a set of information
Angabe in einem Informationssatz
keep a log of all requests
ein Protokoll von alien Anforderungen erhalten
key in a flock of ones and zeroes
einen Haufen von Einsen und Nullen eintasten
key in a series of programming steps
eine Reihe von Programmschritten eintasten
lay out the circuit according to a set of design rules
das Schaltkreislayout unter Berücksichtigung der Entwurfsregeln ausführen
layer of gold less than a micrometre thick
Goldschicht von einer Dicke unter 1 μm
length
of a
register
Registerlänge
lid
of a
can
Deckel eines Gehäuses
lid
of a
can
Gehäusedeckel
loading
of a
program into a computer
Eingabe eines Programms in einen Rechner
location of the bond pads in the corners
of a
chip
Lage der Bondinseln in den Chipecken
logic Simulation of the gate level performance
of a
circuit
logische Simulation der Schaltungsleistung auf Gatterebene
main memory
of a
central processor
Zentralspeicher
make a vertical transition from the level of the IC to the level of the substrate
einen vertikalen Übergang von der IC-Ebene zur Substratebene herstellen
manufacturing sequence
of a
resistive network
Herstellungsfolge eines Widerstandsnetzwerks
maximize the probability of detecting a failure
die Wahrscheinlichkeit eines Fehlernachweises maximieren
maximum gain
of a
transistor
Maximalverstärkung eines Transistors
metal leads
of a
DIP
Anschlußbeine eines DIL-Gehäuses
micro-architecture
of a
computer
Mikroaufbau eines Rechners
minify the image
of a
variable aperture
das Bild einer veränderlichen Blende verkleinern
modify the contents
of a
storage location
den Inhalt einer Speicherzelle ändern
momentary application
of a
reverse bias voltage
kurzzeitige Anlegung einer Sperrvorspannung
monitoring accuracy down to several hundredths
of a
micron
Kontrollgenauigkeit bis zu einigen Hundertsteln eines Mikrometers
move to the location
of a
fiducial mark den
Ort einer Justiermarke anfahren
multipurpose capability
of a
system
Möglichkeit mehrerer Funktionen einer Anlage
mutual conductance
of a
FET
Steilheit eines Feldeffekttransistors
negate the result
of a
Boolean operation
das Ergebnis einer Booleschen Verknüpfung negieren
normal position
of a
contact
Grundstellung eines Kontakts
normal position
of a
contact
Normalstellung eines Kontakts
omission
of a
symbol
Auslassung eines Symbols
one-
of-a
-kind microprocessor-based system
Einzelanlage auf Mikroprozessorbasis
operate at twice the speed
of a
5-V device
mit der zweifachen Geschwindigkeit eines 5-V-Bauelements arbeiten
operate off a wide range of power supplies
sich an Netzgeräte mit großem Spannungsbereich anschließen lassen
operating parameter
of a
finished device
Betriebsparameter eines fertigen Bauelements
output a 1 in bit position 0 of the data bus
eine 1 in Bitposition 0 des Datenbusses ausgeben
overlay precision of two levels on a wafer
Überdeckungsgenauigkeit von zwei Ebenen auf einem Wafer
pack tens of thousands of electronic functions into a single chip
Zehntausende elektronischer Funktionen in ein Einzelchip integrieren
parallel transfer
of a
mask pattern to a substrate
Parallelübertragung einer Maskenstruktur auf ein Substrat
partition the circuit function over a set of boards
die Schaltkreisfunktion über mehrere Leiterplatten verteilen
partitioning
of a
communication channel
Aufteilung eines Datenübertragungskanals
partitioning
of a
complex pattern
Unterteilung einer komplexen Struktur
pen plot
of a
mask layer
Zeichnung einer Maskenschicht
perform an increased number of circuit functions within a single IC
eine größere Anzahl von Schaltungsfunktionen in einem einzelnen integrierten Schaltkreis ausführen
permanent feature
of a
device
Dauereinrichtung eines Geräts
photocompose the pattern from a number of reticle images
die Struktur aus einer Reihe von Retikelbildern zusammensetzen
(montieren)
pinch-off voltage
of a
depletion-mode device
Abschnürspannung eines Bauelements des Verarmungstyps
position the beam at the centre
of a
field
den Strahl in der Mitte eines Feldes positionieren
position the resist within a few micrometres of the mask
das Resist in einem Abstand von wenigen Mikrometern von der Maske positionieren
positioning
of a
mask with respect to a sample
Positionierung einer Maske in bezug auf eine Probe
power capability
of a
bipolar transistor
Leistungsfähigkeit eines Bipolartransistors
power handling capacity
of a
FET
Leistungsvermögen eines FET
power handling capacity
of a
FET
Belastbarkeit eines FET
printout of the contents
of a
file
Ausdruck des Dateiinhalts
produce arrays of images by photoreduction with a step-and-repeat camera
regelmäßige Bildfelder durch Verkleinerung mit einem Fotorepeater herstellen
project the image of the first aperture on a second aperture
das Bild der ersten Blende auf eine zweite Blende projizieren
provide a great deal of information about
sehrviele Informationen liefern über
provide a high degree of reproducibility
ein hohes Maß von Reproduzierbarkeit gewähren
provoke deliberately the reappearance
of a
problem
das erneute Auftreten eines Problems absichtlich hervorrufen
put a tremendous amount of thought and work into the project
einen gewaltigen Aufwand an Entwicklungsarbeit in das Projekt investieren
put ever increasing numbers of smaller devices on a chip
eine stetig wachsende Zahl von kleineren Elementen auf ein Chip bringen
put the architecture
of a
minicomputer on a single silicon chip
die Architektur eines Kleinrechners auf ein einziges Siliziumchip bringen
quartz window
of a
ceramic package
Quarzfenster eines Keramikgehäuses
rapid-scan X-Y worktable
of a
bonder
Koordinatentisch eines Bonders für schnelles Abfahren in x- und y-Richtung
read out the contents
of a
memory
den Inhalt eines Speichers auslesen
realize a throughput of 60 wafers per hour
einen Durchsatz von 60 Wafern je Stunde erzielen
record
of a
given size
Datensatz einer bestimmten Größe
recreation
of a
file
Wiederherstellung einer Datei
(nach einer größeren Betriebsstörung)
rectilinear array
of a
mask
Schablonenfeld
reduce parasitic capacitance by at least a factor of 10
die parasitäre Kapazität mindestens um den Faktor 10 reduzieren
(herabsetzen)
reduction lens
of a
step-and-repeat aligner
Verkleinerungsobjektiv eines Projektions- und Überdeckungsrepeaters
reel
of a
film carrier
Filmträgerrolle
repeatability
of a
given position
Reproduzierbarkeit einer bestimmten Position
replica
of a
master pattern
Wiedergabe einer Originalstruktur
replica
of a
master pattern
Abbild einer Originalstruktur
replicate microelectronic test structures across the surface
of a
wafer
mikroelektronische Teststrukturen auf der Waferfläche vervielfältigen
reproduce pattern details to a greater or lesser degree of accuracy
Strukturdetails mit einem mehr oder weniger hohen Genauigkeitsgrad abbilden
require a significant amount of time
einen wesentlichen Zeitaufwand erfordern
rerun a portion of the program
einen Teil des Programms wiederholen
restrict all processing
of a
slice to a single machine
die gesamte Bearbeitung einer Scheibe auf ein einziges Gerät beschränken
right-hand position
of a
number
Einerstelle einer Zahl
rising edge
of a
clock pulse
ansteigende Flanke eines Taktimpulses
rotate past a set of read-write heads
an Lese-Schreib-Köpfen vorbeischwenken
running
of a
program
Ablaufen eines Programms
scale by a factor of 0.8
um einen Faktor von 0,8 skalieren
scroll a display of storage ahead or backwards
eine Speicheranzeige vor- oder zurückrollen
search a set of data
einen Datensatz suchen
section
of a
program
Abschnitt eines Programms
segmentation
of a
program
Segmentierung eines Programms
serve a wide variety of markets
vielfältigen Marktansprüchen gerecht werden
shrink gate lengths from 1 μm to a few tenths
of a
micrometre
die Gatelängen von 1 μm auf einige zehntel Mikrometer reduzieren
single digit
of a
decimal number
Einzelziffer einer Dezimalzahl
size
of a
block
Blockgröße
slanting inner surface
of a
V groove
schräge Innenfläche eines V-förmigen Grabens
sleeping sickness
of a
transistor
allmähliches Versagen eines Transistors
(durch Einwirkung von Feuchtigkeit)
slice a wafer from a crystal of silicon
eine Scheibe von einem Siliziumkristall trennen
sloping wall
of a
V groove
schräge Wand eines V-Grabens
slow death
of a
transistor
allmähliche Verschlechterung eines Transistors
slow execution by a factor of five
die Abarbeitung um das Fünffache verlangsamen
specify a pattern as a series of flashes of varying widths and lengths
eine Struktur als eine Serie von Belichtungsstempeln unterschiedlicher Breite und Länge spezifizieren
split up the computing power among a number of smaller boards
die Rechenleistung auf eine Reihe kleinerer Platten aufteilen
squander the remaining chip area in a jumble of interconnections
die verbleibende Chipfläche mit Kreuz- und Querverbindungen vergeuden
squeeze more power out
of a
board
mehr Leistung aus einer Platte herausholen
start-up
of a
microcomputer
Inbetriebnahme eines Mikrocomputers
step-repeat imaging
of a
transparent foil mask at 10:1
schrittweise Bildübertragung einer transparenten Folienmaske mit zehnfacher Verkleinerung
stitching of multiple fields on a single wafer
Montage mehrfacher Felder auf einem einzigen Wafer
stitching of multiple fields on a single wafer
Zusammenfügen mehrfacher Felder auf einem einzigen Wafer
store large volumes of data on-line to a central processor
große Datenmengen im On-line-Betrieb in einem Zentralprozessor speichern
strength of the output signal from a circuit
Stärke des Ausgangssignals einer Schaltung
string of ones within a frame
Folge von Einsen innerhalb eines Datenübertragungsblocks
strip
of a
bumped tape
Streifen eines Bandes mit aufgebrachten Bondhügeln
strip
of a
chip
Streifen eines Chips
(Rasterscan-Verfahren)
stripe width
of a
pattern
Streifenbreite einer Struktur
subdivision
of a
block
Teilbereich eines Blocks
subdivision
of a
complex pattern
Unterteilung einer komplexen Struktur
subdivision
of a
word
Unterteilung eines Wortes
sudden death
of a
transistor
plötzlicher Ausfall eines Transistors
superposition on a substrate of patterns from several masks to a precision of 0.1 μm
Überdeckung von Strukturen verschiedener Masken auf einem Substrat mit einer Genauigkeit von 0,1 μm
surface elevation map
of a
wafer
topografische Darstellung einer Waferoberfläche
take up a considerable amount of chip area
eine erhebliche Chipfläche einnehmen
terminal
of a
FET
Anschluß eines FET
17 terminals per side
of a
68-pin leadless package
17 Anschlußkontakte je Seite eines anschlußdrahtfreien 68-Pin-Gehäuses
transfer control from one part
of a
program to another part
aus einem Programmteil in einen anderen springen
transfer
of a
process from laboratory to production
Überleitung eines Verfahrens aus dem Forschungsstadium in die Produktion
transformation of plasma chemistry into a VLSI production tool
Überleitung der Plasmachemie in ein Produktionsmittel für hochintegrierte Schaltkreise
transient response
of a
transistor
Schaltverhalten eines Transistors
translate trapezoids into a series of rectangles
Trapeze in eine Reihe von Rechtecken umsetzen
trap the address of an incorrect word in a latch
die Adresse eines falschen Wortes in einem Latch erfassen
(auffangen)
update a previous generation of the file
eine frühere Dateierstellung aktualisieren
use the exposure process in a step and peat mode with individual alignment of each chip area
eine schrittweise Belichtung mit Einzeljustierung jeder Chipfläche durchführen
useful working life
of a
photomask
Lebensdauer einer Fotoschablone
UV exposure
of a
photoresist layer
UV-Belichtung einer Fotoresistschicht
vary as a function of temperature
als Funktion der Temperatur schwanken
vary under computer control the dimensions
of a
shaped beam
die Abmessungen eines Flächenstrahls computergesteuert verändern
wiring side
of a
printed circuit board
Leitungsseite einer Leiterplatte
wiring side
of a
printed circuit board
Verdrahtungsseite einer Leiterplatte
writing
of a
master mask
Schreiben einer Originalschablone
yield a field size of 3 mm square after reduction
eine Feldgröße von 3 mm x 3 mm nach Verkleinerung ergeben
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