Terms for subject Microelectronics containing minimum-size

English	German
minimum detectable defect size	kleinste nachweisbare Defektgröße (Maskenkontrolle)
minimum feature size	minimale Elementbreite
minimum feature size	kleinste Strukturbreite
minimum resolvable feature size	kleinste auflösbare Linienbreite (Strukturgröße)
minimum usable feature size	kleinste nutzbare Elementgröße (Strukturbreite)
minimum-size feature	kleinstes Strukturelement
submicron minimum feature size	kleinste Strukturbreite im Submikrometerbereich