Terms for subject Microelectronics containing line-pattern

English	German
equal line-space pattern	Linienstruktur mit gleichem Tastverhältnis
line and space pattern	Linienrasterstruktur
line pattern	Linienstruktur
minimum pattern line width	kleinste Elementbreite der Struktur
minimum pattern line width	kleinste Strukturelementbreite
1-μm-wide line and space pattern	Linienrasterstruktur mit einem Rastermaß von 1 μm
pattern line	Strukturlinie
pattern line	Strukturelement
pattern line width	Strukturlinienbreite
pattern line width	Strukturbreite
pattern line width control	Strukturbreitenkontrolle
submicron line width pattern	Struktur mit Linien-breiten unter 1 pm