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Microelectronics
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layer-to-layer
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English
German
alignment error from
layer to layer
Justierfehler von Schicht zu Schicht
apply a layer of photoresist uniformly to the oxidized silicon
eine Fotoresistschicht gleichmäßig auf das oxydierte Silizium aufbringen
apply a thick layer of a resist to the wafer
eine dicke Resistschicht auf dem Wafer aufbringen
layer-to-layer
overlay on a wafer
Überdekkung der Schichten auf einem Wafer
layer-to-layer
registration
Überdeckung zwischen den Schichten
overall alignment error from
layer to layer
Gesamtjustierfehler von Schicht zu Schicht
pattern transfer from the top resist to the silicon nitride layer
Strukturübertragung von der oberen Resistschicht auf die Siliziumnitridschicht z
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