Terms for subject Microelectronics containing etching technique

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dry etch technique	Trockenätzverfahren
dry etching technique	Trockenätzverfahren
ion-beam etching technique	Ionenstrahlätzverfahren
liquid etching technique	Naßätzverfahren
plasma etching technique	Plasmaätzverfahren
vertical anisotropic etch technique	VATE-Technik
wet etch technique	naßchemisches Ätzverfahren