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| active down-scaling | aktive Verkleinerung (der vertikalen Einzelelementabmessungen in einem Chip) |
| down scaling of structural dimensions | Verkleinerung der Strukturabmessungen |
| down-scaling | maßstabgerechte Verkleinerung (von Einzelelementen) |
| passive down-scaling | passive Skalierung (Verkleinerung der Strukturbreiten) |
| scaling down | maßstäbliche Verkleinerung |
| scaling down | Skalierung |
| scaling down of pattern size | maßstäbliche Verkleinerung der Strukturgröße |
| scaling of channel lengths down to 2 μm | Verkleinerung der Kanallängen bis zu 2 μm |