Terms for subject Microelectronics containing coverage

English	German
aluminium step coverage	Aluminiumstufenbedekkung
area coverage rate	Flächenbedeckungsrate
average of 30 % coverage	mittlerer Bedeckungsgrad von 30 %
field coverage	Feldgröße
field coverage	Bildfeldbereich
field coverage	Bildfeldgröße
horizontal-to-vertical coverage	Stufenüberdeckung
percentage area of coverage by the pattern	Bedeckungsgrad (Anteil der zu belichtenden Strukturfläche an der Gesamtfläche)
step coverage	Stufenüberdeckung